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微型化真空泵对于微机电系统和真空微电子器件的真空封装极具意义。本文从工作原理和工艺实现方面，分析了常见传统真空泵实现微型化的可行性，介绍了膜片泵、射流/ 扩散泵、努森泵和离子泵的微型化进展，并总结了当前存在的技术障碍。结果表明，目前热点研究的微型化真空泵已经可以构建从大气状态至高真空的真空系统。虽然真空泵微型化后，其性能和工作稳定性相对传统宏观真空泵有较大降低，但具有低功耗、可集成优势，对便携式系统和高真空微系统十分必要。蠕动泵主要用于抽送液体，尤其适合含有固体或高粘度液体的输送。上海真空泵批发厂家
如何正确选择一款微型蠕动泵？ 3、确认所使用蠕动泵的电压，电流，噪音要求。为了减少脉动，许多蠕动泵提供弹簧加载机制以确保平稳地泵送动作。此功能对于剪切敏感的流体也很重要。要考虑的另一个方面是根据所需的流速将泵调整为不同的管道尺寸。4、更复杂的泵类型还具有可调节的闭塞功能。此功能有助于将泵调整到流体系统中可能出现的不同压力水平。此外，它有助于根据不同的管道材料调整泵的性能。根据流体的类型，使用由硅胶制成的较软的管子，而对于化学要求苛刻的应用，需要使用含氟弹性材料。这些通常要困难得多。为了提效率，可使用多通道蠕动泵，同时传输不同介质，或者将相同介质分配到不同容器中，简单易操作，可顺可逆，支持双向传输液体。滚子数量对流体处理也有很大影响，如果需要温和的转移介质，则通常会使用更多的滚筒来保持湿度的脉动水平。上海真空泵发展蠕动泵具有可防止回流和虹吸效应、精度高，并且能实现双向同等流量输送等情况。
微型化真空泵技术及发展本节简要介绍一些研究进展较为明显，或当前关注度较高的微型化真空泵，主要包括膜片泵、射流/扩散泵、努森泵和离子泵。2.1微型化膜片泵典型的单级膜片泵通常由一个腔体、一个泵膜、两个阀门和一个致动器组成，它利用泵膜的往复运动营造腔体容积的周期性变化，利用单向阀门控制气体流向，实现气流的定向引入、输出。膜片泵的原理、结构相对简单，膜片材料可使用硅、电介质和多种聚合物，驱动机制可采用静电、压电、电渗、气动和磁力等[16]。关键部件的材料及加工都兼容MEMS工艺，使得膜片泵比较容易和其他微型器件集成，构建片上型系统[17]。
具体到常见的真空泵类型，包括但不限于以下几种：变容积式真空泵：包括往复真空泵、旋片真空泵、滑阀真空泵、水环真空泵、罗茨真空泵等。这类泵通过改变泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气的过程。喷射真空泵：包括水喷射真空泵、蒸汽喷射真空泵、汽水串联喷射真空泵、汽水组合喷射真空泵等。这类泵利用文丘里效应的压力降产生的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输泵。其他类型：如液环真空泵（水环真空泵）、干式真空泵、分子真空泵、牵引分子泵、水喷射真空泵、气体喷射泵、蒸汽喷射泵、扩散泵等。电动真空泵：这是一种多用途、多功能的微型真空泵，具有高压力、低噪音的特点，适用于多种应用场景。按用途分类：主泵、粗抽泵、前级泵、维持泵、粗/低真空泵、高真空泵、超高真空泵、增压真空泵等，这些分类基于真空泵在真空系统中的角色和适用范围。按结构特点分类：机械式真空泵和射流式真空泵两种，机械式真空泵通过机械的运动来不断改变真空泵的吸气容腔容积从而获得真空。气体捕集泵：包括吸附泵、冷阱、低温泵、升华泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵等，这些类型的真空泵通过使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减少了容器内的气体分子数目而达到抽气目的。在微型真空泵中，流量的大小决定了真空泵吸取气的速度和能力。通常，流量越大，真空泵的吸气能力越强。
蠕动泵又称软管泵，是一种容积泵。蠕动泵是通过滚轮压缩和释放软管而实现泵送流体的目的，常常被用在要求比较严格的行业，例如实验室、制药和医疗等行业，以及泵送腐蚀性或粘性液体的化工行业。当软管被挤压时，流体就会被迫在管中流动，当滚轮离开后软管又会自然打开，更多的流体会被吸入软管。流体在软管中向前移动的这种现象类似于人体的胃肠道消化过程，该过程被称为蠕动，所以这种泵被形象地称为蠕动泵。一整个蠕动泵包含一个控制系统，一个电机和一个泵头。泵头里有一个软管和滚轮.蠕动泵工作时滚轮或转子沿软管长度方向滚动，滚动过程中挤压软管，使软管内形成自吸压力将液体吸进软管中。上海真空泵批发厂家
用活塞往复运动产生泵吸气的真空设备通过活塞的上下往复运动气体在泵筒内产生压缩膨胀，从而产生负压吸气。上海真空泵批发厂家
有效提高蠕动泵工作效率的小技巧：蠕动泵外壳和蠕动泵管的清洁蠕动泵在使用过程中要注意清理泵壳和泵管上的杂物。由于蠕动泵是相对精密的仪器，主要靠泵壳保持较高精度的间隙，从而的挤压泵管，如果因为泵管损坏而流入液体粘连到泵壳压轮和压块及泵管上，就会改变泵头的压紧间隙，那怕是微小的变化也会造成泵管的过度过早磨损，严重的会影响到泵头造成泵头的损坏。7、定期检查防止泵管破损蠕动泵在使用的时候要定时检查泵管的磨损情况。因为蠕动泵管是易损件，一旦破损就会造成液体渗漏，因此要及时检查泵表的表面是泵有早期磨口，以防止泵管破损。8、泵管材质的选择在选择蠕动泵的时候要注意需要输送的液体会不会腐蚀泵管。因为泵管的材质较多，输送的液体种类也非常多，没有一种泵管可以耐受所有的液体，所以需要确认自己的液体种类，通过化学相溶表做对比或者通过浸泡实验确保泵管可以使用。上海真空泵批发厂家
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