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微型化真空系统需要相互协调的全微型化元器件，其中比较主要的外围器件就是真空泵，真空泵微型化分析按照工作原理不同，真空泵主要分为气体输运泵和气体捕集泵。输运泵通过气体不断吸入和排出达到抽气目的，常见的有膜片泵、旋片泵、扩散泵和分子泵；捕集泵通过气体吸附剂或低温表面吸附、捕集气体实现抽气，主要包括离子泵、升华泵和低温泵等[9]。宏观真空泵抽气速率高、极限真空高、抽气效率高，微型化后，由于微加工工艺兼容性原因，可以预期到其性能会下降。同时研究表明，并非所有宏观真空泵都适合微型化。蠕动泵优势；无污染 卫生等级高、环密封性好，.高精度、低剪切力，耐酸碱、耐腐蚀、耐高温、维护简单。上海果汁机等设备真空泵
高精度分配蠕动泵、分配型蠕动泵的选型要点1.流量要求：需要根据具体的流量要求来选择合适的分配型蠕动泵。2.压力要求：需要根据具体的压力要求来选择合适的分配型蠕动泵。3.输送介质：需要根据具体的输送介质来选择合适的软管或者管道材料。4.粘度要求：需要根据具体的粘度要求来选择合适的软管或者管道材料。一体化蠕动泵可以广泛应用于医学设备检测、水质监测等液体传输分析仪器设备。一体化蠕动泵集成了驱动于电机尾部，电路和软件精细掌握，可配套硬管转软管接头，结构紧凑、易于安装、操作便捷，精度高。上海便携式环境气体分析真空泵微型隔膜泵的主要在于其结构简单、体积小、重量轻，以及较高的流量和压力范围。
全自动的微型真空泵、智能真空泵：可随时调节真空度(液晶实时显示，调节范围：0~-80kPa)；流量可调(范围：0~25LPM)，集成微型真空泵、精密电路等，多种模式智能调节，自带全套配件，交流供电，非常方便使用。2.丰富的产品线，另有多种真空度(95Kpa-10Kpa)、流量(0.2L/min-38L/min)的微型真空泵供客户选择；3.结构紧凑、体积小巧(尺寸能达到小为:33×14×24mm)(比人大拇指还小)，重量轻(轻只15g)，流量大，极低能耗；4.无传统真空泵所需的真空泵油和润滑油，不污染介质；5.免维护，允许工作介质高温（-10-120摄氏度）、允许富含水汽；6.与众不同的微型抽水、抽气两用泵，可调流量，具备自吸功能，高吸程(3米)，遇水抽水，遇气抽气！7.国内的耐高温水泵技术，可以定做成比较高耐100度液体的高温水泵。
小微型真空泵具有明显的使用便利性和可移动性，在工业领域中的消费量比我们想象的要多用较多的小微型真空泵的类型有：无油活塞泵、涡轮分子泵、涡旋式真空泵。微型真空泵特别适合用在科研实验室、吊具、印刷行业、电器行业、小型工厂或需要真空设备的作业间，和室外移动作业的环境中。一般来说，它们具有体积小、结构简单、清洁无油、高效节能、运行成本低、噪音低、安装方式灵活、维护量少、可快速检修等明显特点。不同类型的小型真空泵也具有各自的特点。比如：活塞泵的噪音和温升都较低；涡旋式真空泵的密封性性能好，极限真空度高。因此，大家可根据自己的工况选择合适的微型真空。在微型真空泵中，流量的大小决定了真空泵吸取气的速度和能力。通常，流量越大，真空泵的吸气能力越强。
无油活塞泵：免维护，使用寿命相对较长传统油式真空泵需要定期更换润滑油，而无油活塞真空泵不需要这样的维护，可以减少了工作人员的维护工作量。再者，无油活塞真空泵采用了比较密封技术和材料，使其在使用过程中摩擦损耗更小，使用寿命更长，减少了更换零部件的频率，提高了设备的稳定性和可靠性。匠心制造，精工铸造品质，增加产品使用寿命。产品配件采用进口品牌，外加合理的配合，确保产品经久耐用，以实测数据，无油活塞真空泵使用寿命≥2万小时。降低转速提高蠕动泵管口径，蠕动泵的流量大小是通过蠕动泵头的转动产生的。上海真空泵近期价格
微型化真空泵对于微机电系统和真空微电子器件的真空封装极具意义。上海果汁机等设备真空泵
蠕动泵，英文翻译为peristaltic pump。蠕动泵行业中的称呼有：蠕动泵、计量泵、恒流泵、软管泵、软管蠕动泵。从输送的精度方面说属于计量泵、恒流泵。从产品构造来说属于软管泵；从产品的原理来说属于蠕动泵。 蠕动泵的工作原理是通过挤压软管实现液体的输送，因此这种泵输送的液体在泵内只经过软管，没有死角，因此极易清洗，不会产生残留，非常适合于需要洁净输送的用途。再因为蠕动泵每转一圈都会输出固定量的流体，因此蠕动泵也非常精细，可以通过调速和计时的方式实现精确的计量输送。蠕动状态的软管就像人的肠道一下推动管内的流体，因此不会对流体产生挤压和破坏，不像离心泵的高速叶轮会对流体中的固体产生叶轮旋切。特别适合输送类似橙子果粒一样的物料。上海果汁机等设备真空泵
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