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微型化真空泵技术及发展本节简要介绍一些研究进展较为明显，或当前关注度较高的微型化真空泵，主要包括膜片泵、射流/扩散泵、努森泵和离子泵。2.1微型化膜片泵典型的单级膜片泵通常由一个腔体、一个泵膜、两个阀门和一个致动器组成，它利用泵膜的往复运动营造腔体容积的周期性变化，利用单向阀门控制气体流向，实现气流的定向引入、输出。膜片泵的原理、结构相对简单，膜片材料可使用硅、电介质和多种聚合物，驱动机制可采用静电、压电、电渗、气动和磁力等[16]。关键部件的材料及加工都兼容MEMS工艺，使得膜片泵比较容易和其他微型器件集成，构建片上型系统[17]。真空泵主要分为气体捕集泵和气体传输泵两大类真空泵是用各种方法在某一封闭空间产生改善和维持真空的装置。上海真空泵优化价格

有些真空泵因为高速运动部件制造比较困难，微型化后性能会大幅下降。如宏观低真空比较常用的旋片泵，微型化时要保证旋片和腔体间严格密封以及高度耐磨，这对加工容差提出了很高的要求，迄今仍不能很好实现。利用先进LIGA（Lithographie，Galvaonoformung & Abformung） 技术实现的、与旋片泵原理比较接近的微型精密旋转齿轮泵，功能还只限于液体抽运，而不能有效用于实现真空[10]。宏观高真空比较常用的涡轮分子泵，虽然已有针对小型化的新设计提出[11]，但因其高速叶轮和复杂结构制造与微加工兼容较差，目前只有部分采用微加工技术的准微型化样品[12]，全MEMS 微加工技术的分子泵成品尚未见报道。上海真空泵优化价格真空泵可以定义为:利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。

全自动的微型真空泵、智能真空泵：可随时调节真空度(液晶实时显示，调节范围：0~-80kPa)；流量可调(范围：0~25LPM)，集成微型真空泵、精密电路等，多种模式智能调节，自带全套配件，交流供电，非常方便使用。2.丰富的产品线，另有多种真空度(95Kpa-10Kpa)、流量(0.2L/min-38L/min)的微型真空泵供客户选择；3.结构紧凑、体积小巧(尺寸能达到小为:33×14×24mm)(比人大拇指还小)，重量轻(轻只15g)，流量大，极低能耗；4.无传统真空泵所需的真空泵油和润滑油，不污染介质；5.免维护，允许工作介质高温（-10-120摄氏度）、允许富含水汽；6.与众不同的微型抽水、抽气两用泵，可调流量，具备自吸功能，高吸程(3米)，遇水抽水，遇气抽气！7.国内的耐高温水泵技术，可以定做成比较高耐100度液体的高温水泵。

蠕动泵的工作原理类似于用手指夹挤一根充满流体的软管，随着手指向前滑动管内流体向前移动，只是蠕动泵中用手指夹挤软管的动作由滚轮或转子完成。蠕动泵具有无污染、精度高、可快速更换泵管、流体可逆行、可以干运转、维修费用低等特点，在许多领域都有广泛应用，如生物医药、化工、环保、食品饮料等行业。微型真空泵一般指微型负压泵。 微型负压泵，顾名思义，是指能产生负压的微型气泵，即具备一进一出的抽气嘴、排气嘴各一个，并且在进口处能够持续形成真空或负压；排气嘴处形成微正压；工作介质主要为气体，体积小巧的一种仪器。微型真空泵VAK系列是PK系列的升级产品，进行了一些升级，外观更精致，光滑 尺寸更精确；寿命更长，品质高。

微型化真空泵对于微机电系统和真空微电子器件的真空封装极具意义。本文从工作原理和工艺实现方面，分析了常见传统真空泵实现微型化的可行性，介绍了膜片泵、射流/ 扩散泵、努森泵和离子泵的微型化进展，并总结了当前存在的技术障碍。结果表明，目前热点研究的微型化真空泵已经可以构建从大气状态至高真空的真空系统。虽然真空泵微型化后，其性能和工作稳定性相对传统宏观真空泵有较大降低，但具有低功耗、可集成优势，对便携式系统和高真空微系统十分必要。降低转速提高蠕动泵管口径，蠕动泵的流量大小是通过蠕动泵头的转动产生的。上海购买真空泵

蠕动泵的工作原理是通过交替压缩和释放软管来实现液体输送，因此它对液体的搅动非常小。上海真空泵优化价格

提高蠕动泵工作效率的小技巧：降低转速提高蠕动泵管口径蠕动泵的流量大小是通过蠕动泵头的转动产生的。因此，蠕动泵选型时，在满足流量的前提下，降低蠕动泵转速，提高蠕动泵软管的口径以缩短软管使用时间。可以延长蠕动泵管的使用寿命。3、选择合适的蠕动泵软管蠕动泵在使用时会通过蠕动泵头反复挤压蠕动泵软管，因此建议在蠕动泵头出使用正常的蠕动泵管，蠕动泵管具有超好的抗压和回弹行、壁厚精度高，形状标准、材料纯度高等特点。为节约成本除蠕动泵头连接处以外区域可使用与所传输流体相应的普通软管。普通软管可以用软管接头连接。上海真空泵优化价格

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