真空焊接,是指工件加热在真空室内进行,主要用于要求质量高的产品和易氧化材料的焊接。真空钎焊炉包括具有圆筒形侧壁和门的压力容器,门的尺寸和位置设计成可封闭圆筒形侧壁的一端。工件处理系统安装在压力容器门上,用来支承金属工件进行热处理或钎焊。工件处理系统包括使工件在处理过程中转动的装置。真空系统可连接到工件,使工件内部的压力在钎焊过程中低于大气压。与普通焊接相比,能有效防止氧化。伴随着机电一体化的快速发展,真空焊接技术应运而生,其作为焊接技术的后起之辈,却后来居上,越来越得到焊工的喜爱。可以这样说,真空焊接技术的产生是焊接技术的一场新的开始,因为它彻底颠覆了传统焊接的局限性,将焊接突破性地在真空中完成的。
创阔能源科技致力于真空扩散接加工多年,掩膜版也运用真空扩散焊接。那什么是掩膜版呢?光刻掩膜版(又称光罩,英文为MaskReticle),简称掩膜版,是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形结构,再通过曝光过程将图形信息转移到产品基片上。待加工的掩膜版由玻璃/石英基片、铬层和光刻胶层构成。其图形结构可通过制版工艺加工获得,常用加工设备为直写式光刻设备,如激光直写光刻机、电子束光刻机等。掩膜版应用十分广大,在涉及光刻工艺的领域都需要使用掩膜版。
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