以确保安全2、气体的饱和蒸气压及其他性能要了解各组分的饱和蒸气压及其他性能,考虎是否会产生冷凝作用、标准气体中组分与钢瓶同僻壁材质之间的作用、各组分间的反应等。3、标准气体中组分之间的反应标准气体在制备之前,应考虑标准气体中各组分间是否发生化学反应(即化学稳定性问题),实际上必须搞清楚哪些气体组分不能化学匹配,否则,制备出的标准气体量值不准确,甚至可能会发生**。4、标准气体中组分与钢瓶(容器)材料的反应在制备标准气体之前,还应考虑组分气体与钢瓶及阀门所用材质是否发生化学反应(如氧化、腐蚀、吸附等)问题,以便保证标准气体的稳定性。依据组分气体与包装容器材质的相容性,选用不同材质的钢瓶和瓶阀来储装标准气体。另外,在往气瓶中充入每一个组分之前,配气系统各管路应抽成真空,或者用待充的组分气体反复进行增压—减压来置换清洗阀门和管路,直到符合要求为止。为了避免先稳量的组分气体的损失,在往气瓶中充入第二个组分时,该组分气体的压力应远高于气瓶中的压力。为了防止组分气体的反扩散,在充完每一个组分后,在热平衡的整个期间应关闭气瓶阀门,然后进行称量。成都气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。四川标准气体生产
CVD)的方法生长一层或多层材料所用气体称为外延气体。硅外延气体有4种,即硅烷、二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅,主要用于外延硅淀积,多晶硅淀积,淀积氧化硅膜,淀积氮化硅膜,太阳电池和其他光感受器的非晶硅膜淀积。外延生长是一种单晶材料淀积并生长在衬底表面上的过程。此外延层的电阻率往往与衬底不同。5.蚀刻气体(Etchinggases):蚀刻就是把基片上无光刻胶掩蔽的加工表面如氧化硅膜、金属膜等蚀刻掉,而使有光刻胶掩蔽的区域保存下来,这样便在基片表面得到所需要的成像图形。蚀刻的基本要求是,图形边缘整齐,线条清晰,图形变换差小,且对光刻胶膜及其掩蔽保护的表面无损伤和钻蚀。蚀刻方式有湿法化学蚀刻和干法化学蚀刻。干法蚀刻所用气体称蚀刻气体,通常多为氟化物气体,例如四氟化碳、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。干法蚀刻由于蚀刻方向性强、工艺控制精确、方便、无脱胶现象、无基片损伤和沾污,所以其应用范围日益***。6.掺杂气体(DopantGases):在半导体器件和集成电路制造中,将某种或某些杂质掺入半导体材料内,以使材料具有所需要的导电类型和一定的电阻率,用来制造PN结、电阻、埋层等。掺杂工艺所用的气体掺杂源被称为掺杂气体。重庆乙炔标准气体批发厂家福建乙烯标准气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。
所以渗透率也随温度改变而改变。因此,在测定渗透率时,必须将干燥瓶放入恒温水浴中,温度控制精度要达到±011℃。在恒温放置过程中,每隔一定的时间(至少12小时)用精密天平快速称量渗透管一次(必须在10分钟内称完),相邻两次的重量差就是渗透管在该时间段的渗透量。测出渗透量后,就可用下式求出该渗透管的渗透率。740)">式中:G:渗透率(Lgömin);△G:相邻两次称量的重量差(mg);△S:相邻两次称量的时间间隔(min);实际测定时,记录一系列称量和时间数据,用上式计算渗透率并求其平均值。或以称量数据为纵坐标,时间为横坐标,绘制渗透率的特性曲线,所得直线的斜率即为渗透率。(2)渗透管动态配气装置用已知渗透率的渗透管配制标准气体的装置如图6所示。740)">将渗透管放在气体发生瓶中,再将气体发生瓶放入恒温水浴中,恒温水浴的温度要与测定渗透率时的温度相同(一般为25±1℃),这样就可不作温度校正。稀释气(压缩空气)经**、活性炭和氢氧化钠净化器2除去水分和杂质后,再经流量控制阀和流量计3进入气体发生瓶7(即混合器)中,将渗透出来的气体分子带出,就得到标准气体。标准气体的浓度可由下式求出(在25℃和一个大气压下)。740)">式中:z:所配标准气体的浓度(ppm)。
根据加入原料气的体积和塑料袋的充气体积求出标准气体的浓度。这种配气方法的特点是:塑料袋可大可小,因而配气量的大小不受容器的容积大小的限制。740)">标准气体的静态配气技术虽有仪器设备简单,便于操作的***,但因其配气量少,并且取气过程中浓度会发生改变,所以对需气量较大或通气时间较长的工作就不适应了,就要采用动态配气技术配制标准气体。标准气体动态配气动态配气技术就是能连续不断的配制和供给一定浓度的标准气体。用动态配气技术配制标准气体时,首先需要一个能连续不断供给原料气的气源,作为这种配气方法的气源有钢瓶标准气和渗透管等。1.钢瓶气动态配气法在消防实际工作中,所用标准气体的浓度有时需要大,有时需要小。钢瓶标准气虽有不同浓度的规格供应,但购置各种浓度的标准气体,不仅代价太高,而且不一定能及时办到。较好的办法是购置一个浓度较高的标准气瓶,需要低浓度标准气体时,用钢瓶标准气作原料气,压缩空气(由低压空气钢瓶或空压机供给)作稀释气,将它们按图4连接,就可从取气口得到所需浓度的标准气体。740)">所配制的标准气体的浓度,可用改变原料气及稀释气的流量比进行调节,并可按下式计算:740)">式中:z:所配标准气体的浓度(ppm)。福建二氧化碳标准气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。
是根据所需气体的含量,按体积计算。控制组分气体和释稀释气体的体积,经混合而得到的标准气体。2、所需设备注射器,定体积容器。标准气体混匀技术编辑均匀性是考察标准气体性能的一个重要指标。标准气体的特性应该是均匀的即在规定的范围内其量值保证不变。不论采用哪种方法制备的标准气体,都需要进行混匀处理。标准气体的混匀方法有:热处理法、钢瓶滚动法、特殊充填法、自然扩散法、其他混匀方法等,几种混匀操作方法如下:[1]热处理法一般将制备好的标准气体的容器置于40℃以下的温水浴中加热,使气体组分较快的混合均匀。钢瓶旋转滚动法将钢瓶水平放在混匀半置的滚动轴上,使它绕轴心旋转民。该法混匀所需时间短,操作简单。特殊充填法在充填某些气体时,可将钢瓶倒立并保持45℃的倾斜,从下端充气,促使气体绝热膨胀,产生放热效应,气体可以在充填的同时混合均匀。自然扩散法将充入标准气体的钢瓶倒立在合适的位置,静止不动,靠气体本身的自然扩散来达到混合均匀,但此法所需时间较长。其他混匀方法采用静态混合容器或使用特殊构造的容器阀门,可以在很短时间内使标准气体混合均匀。不管采用哪种方法进行混匀处理,必须用另一种高精度的分析方法进行检验。四川二氧化氮标准气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。成都乙炔标准气体直销
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在标准气体研究阶段,要考察所研究的标准气体的均匀性,一般采用气相色谱法在相同的操作条件下,进行测定,以考察标准气体的均匀性,通常用平均值的一致性检验方法来判断。由于均匀性是考察同一瓶标准气体在制备完以后,多长时间量值达到稳定,由有限次测定得到的平均值,在方法的不确定范围内应该是不***的。如果差异是***的,这个因素就是标准气体的不均匀性造成的。标准气体稳定性编辑前言标准物质是指:“具有足够均匀并已经很好地确定某一种或多种特性的物质或材料,用于校准仪器、评价测量方法或确定物质的量值。”标准气体是气体标准物质,由于标准气体具有一定的有效期,因此,标准气体的稳定性是配制和使用过程中的关键问题。众所周知,装入高压容器(钢瓶)中的标准气体的一个重要条件是在保存和使用过程中其量值不应发生变化。实际上,标准气体中成分气体或不纯物与容器内壁接触时往往引起吸附、解吸、化学反应等现象,而使其量值随时间发生变化,在含量越低,组成成分越复杂时,这种变化就越大。标准气体稳定性研究如下:稳定性影响因素[2]标准气体稳定性在很大程度上与容器的材料特性、容器内壁的预处理、气体本身的化学特性和使用条件有着密切关系。四川标准气体生产
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