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制备或来源：由单质氟与硫直接化合而得。六氟化硫气压六氟化硫，分子式SF6，相对分子质量为，常温常压下为无色、无味、无毒、无腐蚀性、不燃的气体，密度约为空气的5倍，标准状态下密度为，冷冻后变成白色固体。升华温度为℃,熔点℃,临界温度℃，临界压力为。六氟化硫具有良好的化学稳定性和热稳定性。六氟化硫性质六氟化硫的化学性质十分稳定。和六氟化硒相比，六氟化硫的水解速率极低，这是由于硫原子半径较小，导致六个氟原子在其周围形成了较大的位阻。但是氟原子半径也不是很大。
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