[VIP第1年] 指数:3
用于将波长为λ的基频激光倍频后产生波长为λ/2的激光；三倍频谐波镜，镀有波长为λ高透膜和波长为λ/2的高透膜和波长为λ/3的高反膜；三倍频非线性晶体，与所述二倍频非线性晶体相连，用于将波长为λ的基频激光和λ/2的激光三倍频后产生波长为λ/3的激光；输出镜，镀有各个波长的部分透过膜；以及多个温控炉，用于分别安放所述二倍频非线性晶体、三倍频非线性晶体并进行加热，通过控制温控炉温度，实现调节输出光中各个波长激光的比例。在本公开实施例中，所述二倍频非线性晶体的比较好工作温度点的范围40～150℃。在本公开实施例中，所述三倍频非线性晶体的比较好工作温度点的范围40～60℃。在本公开实施例中，所述四倍频非线性晶体的比较好工作温度点的范围20～40℃。在本公开实施例中，所述二倍频非线性晶体的相位匹配角为θ1＝90°，φ1＝0°～°。在本公开实施例中，所述三倍频非线性晶体的相位匹配角为θ2＝°～°，φ2＝90°。在本公开实施例中，所述四倍频非线性晶体的相位匹配角为θ3＝°～48°，φ3＝0°。在本公开实施例中，当加热温度偏离比较好工作温度时，会使得频率转换效率降低，当温度偏离超过10℃甚至更高，频率转换将不发生。临界温度：℃临界压力：2720kPa临界密度：压缩系数：温度(℃)压缩系数。安徽液氖多少m3
单词“包含”不排除存在未列在权利要求中的元件或步骤。位于元件之前的单词“一”或“一个”不排除存在多个这样的元件。说明书与权利要求中所使用的序数例如“***”、“第二”、“第三”等的用词，以修饰相应的元件，其本身并不意味着该元件有任何的序数，也不**某一元件与另一元件的顺序、或是制造方法上的顺序，该些序数的使用*用来使具有某命名的一元件得以和另一具有相同命名的元件能做出清楚区分。此外，除非特别描述或必须依序发生的步骤，上述步骤的顺序并无限制于以上所列，且可根据所需设计而变化或重新安排。并且上述实施例可基于设计及可靠度的考虑，彼此混合搭配使用或与其他实施例混合搭配使用，即不同实施例中的技术特征可以自由组合形成更多的实施例。本领域那些技术人员可以理解，可以对实施例中的设备中的模块进行自适应性地改变并且把它们设置在与该实施例不同的一个或多个设备中。可以把实施例中的模块或单元或组件组合成一个模块或单元或组件，以及此外可以把它们分成多个子模块或子单元或子组件。除了这样的特征和/或过程或者单元中的至少一些是相互排斥之外，可以采用任何组合对本说明书。广西普氖气多少立方用氖代替氢作为实验的安全冷却剂。
这产生了粗液氧塔底馏出物86(也称为釜液体)和富氮塔顶馏出物87。低压塔74还设置有多个传质接触元件，这些接触元件可以是塔盘或规整填料或散堆填料或低温空气分离领域中的其他已知元件。低压塔74中的这些接触元件被示出为规整填料79。如前所述。在低压塔74内发生的分离产生被提取为富氧液体流90的富氧液体塔底馏出物77和被提取为氮产物流95的富氮蒸气塔顶馏出物91。如附图所示，富氧液体流90可经由泵180泵送并被看作被泵送的液氧产物185，或被引导至主换热器52，在该主换热器中将该富氧液体流加热以产生气态氧产物流190。另外，还从低压塔74提取了废物流93以控制氮产物流95的纯度。氮产物流95和废物流93两者均穿过被设计为使釜流88和/或回流流过冷的一个或多个过冷单元99。经过冷回流流260的一部分可任选地被看作液体产物流98，并且其余部分可在穿过膨胀阀96之后被引入到低压塔74中。在穿过过冷单元99之后，氮产物流95和废物流93在主或初级换热器52内被完全加热，以产生经加热氮产物流195和经加热废物流193。尽管未示出，但是经加热废物流193可用于再生预纯化单元28内的吸附剂。用于回收氖气和氦气的系统/设备图2、图4、图5、图7和图8示意性地描绘了不可冷凝气体回收系统。
还可将经过冷液氮回流流的其他部分作为回流流引导至低压塔并且/或者将其看作液氮产物流。附图说明虽然本发明的结论是申请人视为他们的发明内容且清楚地指出发明主题的权利要求，但相信本发明在结合附图考虑时将得到更好的理解。其中：图1是具有本发明的不可冷凝气体回收系统的实施方案的低温空气分离单元的局部示意图；图2是图1的不可冷凝气体回收系统的更详细示意图；图3是具有不可冷凝气体回收系统的另选实施方案的低温空气分离单元的局部示意图；图4是图3的不可冷凝气体回收系统的一个实施方案的更详细示意图；图5是图3的不可冷凝气体回收系统的另一实施方案的更详细示意图；图6是具有本发明的不可冷凝气体回收系统的又一实施方案的低温空气分离单元的局部示意图；图7是图6的不可冷凝气体回收系统的更详细示意图；并且图8是图6的不可冷凝气体回收系统的更详细示意图。具体实施方式现在转到图1、图3和图6，示出了通常也称为空气分离单元10的低温空气分离设备的简化例示。从广义上讲，所描绘的空气分离单元包括主进料空气压缩机组20、涡轮空气回路30、增压器回路40、主或初级换热器系统50、基于涡轮的致冷回路60以及蒸馏塔系统70。如本文所用。氖的三相点温度只比它的标准沸点低约2.5K。
Gigaphoton限时的eTGM技术也将扩展到G41K系列KrF激光器和GT40A系列ArF激光器。这一扩展计划将于2015年11月启动。通过引进eTGM技术，KrF和ArF激光器可减少25%的氖气用量，ArF浸没式激光器可减少高达50%的氖气用量。加速推出Gigaphoton的气体回收技术hTGM。该技术适用于所有类型的激光器。hTGM预计于2016年上市。采用hTGM技术后，客户将可以回收高达50%的消耗气体。Gigaphoton总裁兼首席执行官HitoshiTomaru表示：“氖气是半导体制造业不可或缺的气体，我们认识到在当前情况下，持续的供应危机是一个极为严重的问题，将会严重威胁生产的连续性。Gigaphoton将尽一切努力来支持客户的稳定生产，为此我们推出了三大措施：为气体供应商提供快速资质认证、大幅减少气体使用及尽早推出气体回收技术。工业气体氖与氩、氦和汞蒸气混合可用于充填磷光管。北京普通氖气多少升
过度吸入氖气可能导致窒息，因为氖气没有氧气供应。安徽液氖多少m3
将经压缩且经冷却的涡轮空气流35引导至或引入主或初级换热器52中，在其中将该经压缩且经冷却的涡轮空气流部分冷却至约160开尔文至约220开尔文之间的范围内的温度以形成经部分冷却且经压缩的涡轮空气流38，该经部分冷却且经压缩的涡轮空气流随后被引入涡轮膨胀机62中以产生被引入到蒸馏塔系统70的高压塔72中的冷排气流64。由该经部分冷却且经压缩的涡轮空气流的膨胀而产生的补充致冷由此被直接施加到高压塔72，从而减轻了主换热器52的一些冷却负荷。在一些实施方案中，涡轮膨胀机62可与用于直接或通过适当的齿轮装置进一步压缩涡轮空气流32的增压压缩机36联接。虽然图1所示的基于涡轮的致冷回路被示出为下塔涡轮(lct)回路，在该回路中经膨胀排气流被进料至蒸馏塔系统70的高压塔72，但可设想到基于涡轮的致冷回路另选地可以是上塔涡轮(uct)回路，在该回路中涡轮排气流被引导至低压塔。此外，基于涡轮的致冷电路可以是lct回路和uct回路的组合。类似地，在采用uct布置(未示出)的另选实施方案中，纯化的且经压缩的进料空气的一部分可在初级换热器中部分冷却，然后该经部分冷却的物流的全部或一部分被转移到热涡轮膨胀机中。安徽液氖多少m3
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