ITO蚀刻液是通过侵蚀材料的特性来进行雕刻的一种液体。从理论上讲,凡能氧化铜而生成可溶性铜盐的试剂,都可以用来蚀刻敷铜箔板,但权衡对抗蚀层的破坏情况、蚀刻速度,蚀刻系数,江苏ITO药剂、溶铜容量、溶液再生及铜的回收、环境保护及经济效果等方面。已经使用的蚀刻液类型有六种类型:酸性氯化铜、碱性氯化铜、氯化铁、过硫酸铵、硫酸/铬酸,江苏ITO药剂、硫酸/双氧水蚀刻液。酸性氯化铜,工艺体系,江苏ITO药剂,根据添加不同的氧化剂又可细分为氯化铜+空气体系、氯化铜+氯酸钠体系、氯化铜+双氧水体系三种蚀刻工艺,在生产过程中通过补加盐酸+空气、盐酸加氯酸钠、盐酸+双氧水和少量的添加剂来实现线路板板的连续蚀刻生产。ITO黑白显影剂是硫酸对甲氨基苯酚、对苯二酚等。江苏ITO药剂
ITO蚀刻液影响蚀刻速率的因素:氯化铁蚀刻液。1、Fe3+浓度的影响:Fe3+的浓度对蚀刻速率有很大的影响。蚀刻液中Fe3+浓度逐渐增加,对铜的蚀刻速率相应加快。当所含超过某一浓度时,由于溶液粘度增加,蚀刻速率反而有所降低。2、蚀刻液温度的影响:蚀刻液温度越高,蚀刻速率越快,温度的选择应以不损坏抗蚀层为原则,一般在40~50℃为宜。3、盐酸添加量的影响:在蚀刻液中加入盐酸,可以阻止FeCl3水解,并可提高蚀刻速率,尤其是当溶铜量达到37.4g/L后,盐酸的作用更明显。但是盐酸的添加量要适当,酸度太高,会导致液态光致抗蚀剂涂层的破坏。4、蚀刻液的搅拌:静止蚀刻的效率和质量都是很差的,原因是在蚀刻过程中在板面和溶液里会有沉淀生成,而使溶液呈暗绿色,这些沉淀会影响进一步的蚀刻。江苏ITO药剂ITO显影液在工业上来说,是针对半导体晶片而言。
影响ITO蚀刻液侧蚀的因素很多,下面概述几点:1)蚀刻速率:蚀刻速率慢会造成严重侧蚀。蚀刻质量的提高与蚀刻速率的加快有很大关系。蚀刻速度越快,板子在蚀刻液中停留的时间越短,侧蚀量越小,蚀刻出的图形清晰整齐。2)蚀刻液的PH值:碱性蚀刻液的PH值较高时,侧蚀增大。为了减少侧蚀,一般PH值应控制在8.5以下。3)蚀刻液的密度:碱性蚀刻液的密度太低会加重侧蚀,选用高铜浓度的蚀刻液对减少侧蚀是有利的。6)铜箔厚度:要达到较小侧蚀的细导线的蚀刻,尽量采用(超)薄铜箔。而且线宽越细,铜箔厚度应越薄。因为,铜箔越薄在蚀刻液中的时间越短,侧蚀量就越小。
温度对各种ITO蚀刻液速率的影响:1.碱性氯化铜蚀刻液。蚀刻速率与温度有很大关系,蚀刻速率随着温度的升高而加快。蚀刻液温度低于40℃,蚀刻速率很慢,而蚀刻速率过慢会增大侧蚀量,影响蚀刻质量;温度高于60℃,蚀刻速率明显增大,但NH3的挥发量也很大程度增加,导致污染环境并使蚀刻液中化学组分比例失调。故温度一般控制在45~55℃为宜。2.酸性氯化铜蚀刻液。随着温度的升高,蚀刻速率加快,但是温度也不宜过高,一般控制在45~55℃范围内。温度太高会引起HCl过多地挥发,造成溶液组分比例失调。另外,如果蚀刻液温度过高,某些抗蚀层会被损坏。ITO显影液的显影速度与浓度成正比关系。
ITO显影剂的两液显液:两液显影主要作用是用于加强阴影部分的影纹,减低高影调部分的密度。曝光时,阴影部分须比正常提高一个区。如果胶片容易发灰,在溶液B中加入少量的10%溴化钾溶液。底片上的高密度部分的厚度,主要依靠A溶液显影时间的控制,底片进入溶液B以后,高密度部分的显影作用已经停止了,但低密度的部分仍然继续进行,溶液B可以调制的比较强,但是B溶液越强,颗粒就会越粗,所以这种冲洗法需要事前进行比较大量的试验。ITO显影剂是指将感光材料经曝光后产生的潜影显现成可见影像的药剂。江苏TIO铜网格黑化生产基地
ITO显影液浓度越大,显影速度越快。江苏ITO药剂
显影液的主要成分是显影剂。为了完善性能,通常还加一些其他成分,诸如促进显影的促进剂,防止显影剂氧化的保护剂,防灰雾生成的灰雾阻止剂和防灰雾剂等。通过对各组分不同用量的调配可以得到不同性能的显影液,如微粒显影液、高反差显影液等。工业上说的显影剂,是针对半导体晶片而言。系列有显影剂、光刻胶等。ITO显影液的用途:银盐胶片显影用的药液称显影液。用于黑白胶片显影的显影液称黑白显影液,用于彩色胶片显影的称彩色显影液。江苏ITO药剂
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