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因此在制作过程中除了要排除外界的污染源外，集成电路制造步骤如高温扩散、离子植入前等均需要进行湿法清洗或干法清洗工作。干、湿法清洗工作是在不破坏晶圆表面特性及电特性的前提下，有效地使用化学溶液或气体去除残留在晶圆上之微尘、金属离子及有机物之杂质。污染物杂质的分类：IC制程中需要一些有机物和无机物参与完成，另外，制作过程总是在人的参与下在净化室中进行，这样就不可避免的产生各种环境对硅片污染的情况发生。根据污染物发生的情况，大致可将污染物分为颗粒、有机物、金属污染物及氧化物。
翻新处理过程中，清洗是比较重要的环节，由于电路板与IC芯片等元器件回收来源复杂，表面污染物差异很大，除了常见的三防漆、松香残留、油脂、导电胶、导热膏、灰尘、设备长期运行产生的积碳等，还会混有其他生活和工业垃圾所带来的各种污染物。目前常用的主流环保清洗方法有以碳氢清洗剂为主的溶剂类清洗及高效水基清洗，碳氢清洗方法运行成本较高；水基清洗对某些污染物的去除能力有限，同时需要配置烘干环节。如正确选用合适的IC清洁剂，一般情况下可做到成本与清洁效果的兼顾。
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