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ITO靶材生产过程包括金属提纯和靶材制造两个主要环节。因高纯金属原料的品质影响靶材的导电性能等性状，对成膜的质量有较大影响，且靶材种类繁多，客户需求非标，定制属性明显。故而金属提纯环节技术壁垒及附加值均较高。其中铟属于稀散金属，因其具有可塑性、延展性、光渗透性和导电性等特点，而以化合物、合金的形式被广泛应用，福建镀膜陶瓷靶材推荐厂家，福建镀膜陶瓷靶材推荐厂家。目前，福建镀膜陶瓷靶材推荐厂家，铟的主要应用领域是平板显示领域，包括ITO靶材及新兴的铟镓锌氧化物（IGZO）靶材，占全球铟消费量的80%；其次是半导体领域、焊料和合金领域、太阳能发电领域等。生产ITO靶材对于铟的纯度要求一般在4N5及以上，生产化合物半导体材料对于铟的纯度要求则更高，一般在6N及以上。靶材主要由靶坯、背板等部分组成。福建镀膜陶瓷靶材推荐厂家

磁控溅射时靶材表面变黑我们可以想到的1、可能靶材是多孔的，（细孔）在孔中有一些有机污染物（极端可能性）；2、可能靶材有点粗糙，用纸巾用异丙醇擦拭，粗糙的表面在目标表面保留了一些细薄的组织纤维，这可能是碳污染的来源；3、沉积速率可能相当高，并产生非常粗糙的沉积物；4、基板与靶材保持非常接近，在目前的溅射条件下（功率、压力、子靶材距离）有一些发热，气体中有一些污染；5、真空室漏气或漏水，真空室内有挥发的成分，没有充入氩气，充入空气或其他气体，可能引起中毒，这些成分与靶材反应，变成黑色物质覆盖靶材表面。福建镀膜陶瓷靶材推荐厂家靶材间隙对大面积镀膜的影响除了致密化，如果靶材在生产过程中出现异常，大颗粒会因受热而脱落或缩孔。

靶材绑定背板流程：一、什么是绑定绑定是指用焊料将靶材与背靶焊接起来。主要有三种的方式：压接、钎焊和导电胶。靶材绑定常用钎焊，钎料常用In、Sn、In–Sn，一般使用软钎料的情况下，要求溅射功率小于20W/㎝2。二、为什么要绑定 1、防止靶材受热不匀碎裂，例如ITO、SiO2、陶瓷等脆性靶材及烧结靶材；2、节省成本，防止变形，如靶材太贵，可将靶材做薄些，绑定背靶以防止变形。三、背靶的选择 1、常用无氧铜，导电性好，无氧铜的导热性比紫铜好；2、厚度适中，一般建议背靶厚度3mm左右。太厚，消耗部分磁强；太薄，容易变形。四、绑定过程 1、绑定前将靶材和背靶表面预处理2、将靶材和背靶放置在钎焊台上，升温到绑定温度3、将靶材和背靶金属化4、粘接靶材和背靶5、降温和后处理五、绑定靶材使用的注意事项1、溅射温度不宜太高2、电流要缓慢加大3、循环冷却水应低于35摄氏度4、适宜的靶材致密度。 

从ITO靶材制备方法来看，制备方法多样，冷等静压优势突出。ITO靶材的制备方法主要有4种，分别为热压法、热等静压法、常温烧结法、冷等静压法。冷等静压法制备ITO靶材优点：1）冷等静压法压力较大，工件受力相对更加均匀，尤其适用于压制大尺寸粉末制品，符合ITO靶材大尺寸的发展趋势；2）产品的密度相对更高，更加地均匀；3）压粉不需要添加任何润滑剂；4）生产成本低，适合大规模生产。从冷等静压法主要制备流程看：1）制备粉末，选取氧化铟与二氧化锡（纯度99.99%）进行乳化砂磨。其中加入2%—4%的聚乙烯醇（PVA）和30%的纯水进行砂磨。然后进行喷雾干燥，调节喷雾干燥塔参数，喷雾制备不同松装密度的ITO粉末。再将ITO粉末进行筛网筛分，获得合格的ITO粉末；2）制备素胚，将ITO粉末装入橡胶模具中振实，密封投料口，进行冷等静压，得到靶材素坯；3）结烧，将素坯放置于常压烧结炉中，保温温度为1450—1600℃，采用多个阶段保温烧结，烧结过程中通入氧气。ITO（氧化铟锡）靶材是溅射靶材中陶瓷靶材（化合物靶材）的一种，在显示靶材中占比将近60%。

靶材间隙对大面积镀膜的影响除了致密化，如果靶材在生产过程中出现异常，大颗粒会因受热而脱落或缩孔。结果会形成更多的气孔（内部缺陷），靶材中更大或更密的气孔会因电荷集中而放电，影响使用。靶材密度低，加工、运输或安装时气孔易破裂。相对密度高、孔隙少的靶材具有良好的导热性。溅射靶材表面的热量很容易快速传递到靶材或衬板内表面的冷却水中，保证了成膜过程的稳定性。溅射靶材的纯度对薄膜的性能有很大的影响。当洁净的基材进入高真空镀膜室时，如果在电场和磁场的作用下靶材纯度不够。那样的话，靶材中的杂质粒子会在溅射过程中附着在玻璃表面，导致某些位置的膜层不牢固，出现剥离现象。因此，靶材的纯度越高，薄膜的性能就越好。钙钛矿太阳电池在短短数十年间不断刷新转换效率。陕西功能性陶瓷靶材推荐厂家

溅射靶材的要求较传统材料行业高。福建镀膜陶瓷靶材推荐厂家

靶材主要由靶坯、背板等部分组成：其中，靶坯是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源，即高速离子束流轰击的目标材料，属于溅射靶材的重要部分部分，在溅射镀膜过程中，靶坯被离子撞击后，其表面原子被溅射飞散出来并沉积于基板上，制成电子薄膜；由于高纯度金属强度较低，而溅射靶材需要安装在特定的机台内完成溅射过程，机台内部为高电压、高真空环境。因此，超高纯金属的溅射靶坯需要与背板通过不同的焊接工艺进行接合，背板主要起到固定溅射靶材的作用，需要具备良好的导电、导热性能。福建镀膜陶瓷靶材推荐厂家

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