AZO透明导电薄膜具有高可见光透过率和低电阻率的特点,因此可以作为平面显示器和太阳能平面电极材料,也可用在节能方面,如建筑玻璃表面和汽车玻璃表面近年来,随着液晶显示、触控面板、有机发光显示、太阳能电池等的发展,使得透明导电薄膜成为关键性材料之一。目前,常用的锡掺杂氧化钢(ITO)透明导电薄膜材料中的金属铟属于稀缺资源,开发具有透光、导电特性的“非铟”材料已成为研究的热点之一。由于氧化锌基(ZnO)透明导电薄膜价格较为低廉,且不具毒性,在发展上具有相当的优异性。因此,对于氧化锌薄膜材料及其制备技术的研发,引起了大家的重视。AZO薄膜是一种透明导电膜,具有与ITO薄膜相比拟的光学和电学特性,并具有制备工艺简单、价格低、无毒和稳定性好等特点,被认为是ITO薄膜的比较好替代材料。透明导电薄膜的种类很多,主要有ITO,TCO,AZO等,其中ITO的性能比较好,ITO具有高透光率,低电阻率。湖南功能性陶瓷靶材推荐厂家
ITO靶材就是氧化铟和氧化锡粉末按一定比例混合后经过一系列的生产工艺加工成型,再高温气氛烧结(1600度,通氧气烧结)形成的黑灰色陶瓷半导体。ito薄膜是利用ito材作为原材料,通过磁控溅射把ito气化溅渡到玻璃基板或柔性有机薄膜上ito材主要是在平板显示器中得到广的运用,靶材主用是在半导体中运用广。科技发展的迅速,让电子行业在市场中占据很大的份额,直接影响到了人们的工作和生活ITO溅射靶材是一种由氧化铟锡制成的陶瓷射材料。氧化铟锡(ITO)是氧化铟(In203)和氧化锡(SnO2)的固溶体,通常按重量计90%In203、10%SnO2。铟锡氧化物(ITO)因其导电性和光学透明性而成为应用广的透明导电氧化物之一。铟锡氧化物薄膜常通过气相沉积(PVD)沉积在表面上。辽宁氧化物陶瓷靶材厂家透明导电薄膜的种类很多,主要有 ITO,TCO,AZO 等,其中 ITO的性能比较好。
光伏领域对靶材的使用主要是薄膜电池和HJT光伏电池。以HJT电池片为例,在HJT电池片结构中具有TCO薄膜层,该薄膜承担着透光以及导电的重要作用。应用PVD技术,使离子和靶材表面的原子离开靶材,在基底上形成透明导电薄膜。以钙钛矿电池结构为例,钙钛矿电池是由多层薄膜以及玻璃等构成。例如ITO薄膜就需要光伏靶材进行制备。薄膜较为常用的溅射靶材包括铝靶、铜靶、钼靶、铬靶以及ITO靶、AZO靶(氧化铝锌)等,ITO靶材是当前太阳能电池主要的溅射靶材。薄膜电池中透明导电膜至关重要,承担着透光和导电的双重作用。从ITO靶材的优势来看,氧化铟锡(ITO)是N型半导体材料,具有高导电率、高可见光透过率、较强的机械硬度和良好的化学稳定性等优点。因此,在光伏领域中,ITO靶材为原材料所制成的ITO薄膜具有较好的光学特性和电学特性。
靶材相对密度对大面积镀膜的影响靶材的相对密度是靶材的实际密度与理论密度之比。单组分靶的理论密度为晶体密度。合金或混合物靶材的理论密度由各组分的理论密度及其在合金或混合物中的比例计算得出。热喷涂的靶材结构疏松多孔,含氧量高(即使在真空喷涂中,也很难避免合金靶材中氧化物和氮化物的产生)。表面呈灰色,缺乏金属光泽。吸附的杂质和水分是主要污染源,阻碍了高真空的快速获得,在溅射过程中迅速导致放电,甚至烧毁靶材。同时,靶材溅射表面的高温会迅速导致松散颗粒落下,污染玻璃表面,影响镀膜质量。相对密度越高,成膜速度越快,溅射工艺越稳定。根据靶材制备工艺的不同,铸造靶材的相对密度应在98%以上,粉末冶金靶材应在97%以上才能满足生产使用。因此,应严格控制目标密度,以减少落渣的发生。喷涂靶材的密度低,并且制备成本也低。当相对密度能保证90%以上时,一般不影响使用。AZO薄膜与ITO薄膜方块电阻以及电阻率之间的差距逐步缩小。
磁控溅射时靶材表面变黑我们可以想到的1、可能靶材是多孔的,(细孔)在孔中有一些有机污染物(极端可能性);2、可能靶材有点粗糙,用纸巾用异丙醇擦拭,粗糙的表面在目标表面保留了一些细薄的组织纤维,这可能是碳污染的来源;3、沉积速率可能相当高,并产生非常粗糙的沉积物;4、基板与靶材保持非常接近,在目前的溅射条件下(功率、压力、子靶材距离)有一些发热,气体中有一些污染;5、真空室漏气或漏水,真空室内有挥发的成分,没有充入氩气,充入空气或其他气体,可能引起中毒,这些成分与靶材反应,变成黑色物质覆盖靶材表面。ITO靶材的制备方法主要有4种,分别为热压法、热等静压法、常温烧结法、冷等静压法。冷等静压优势突出。江苏氧化物陶瓷靶材咨询报价
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氧化铌由于其独特的物理和化学性质而被广地应用于现代技术的许多领域。例如,利用其较强的紫外线吸收能力,可将其用作紫外敏感材料的保护膜;利用其薄膜折射率较高的特性,可与SiO2等配合可制备具有不同折射率的薄膜。由于这些明显的优点,氧化铌靶材被广地应用于太阳能电池、液晶显示器、离子显示器、收集触屏、光学玻璃、气体传感器等众多领域。随着科技的不断发展以及应用领域的不断延伸,氧化铌靶材的需求量也不断增大。目前,市场上使用的多的是氧化铌平面靶材,大都采用真空热压法来制备。但是采用该方法,氧化铌靶坯厚度较大,加工过程中需要通过机加工剖片工艺加工达到所需的厚度要求。湖南功能性陶瓷靶材推荐厂家
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